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.1分辨率:光學(xué)分辨率小于1um,光學(xué)放大倍數(shù)34X-340X。

2工作距離:不小于36mm
3物鏡:高分辨率復(fù)消色Apo差物鏡,PlanApo D 1.6X 物鏡, 物鏡工作距離36mm。
4 光源:內(nèi)置機(jī)身 LED 同軸光,內(nèi)置于物鏡的 LED 環(huán)形光,環(huán) 形光可 方向組合開關(guān)(如全開、開一半、開四分之一.同軸光 與環(huán)形光可同時工作。功率不小于50W,色溫不小于3000K,照明 燈壽命連續(xù) 50000 小時以上,亮度調(diào)節(jié)方式可全程無級自動連續(xù) 調(diào)節(jié)。
5相機(jī):物理像素不小于420萬(非插值),采集芯片尺寸 不小于1英寸。
6宏觀相機(jī):可在測量前用宏觀相機(jī)拍下整個樣品區(qū)域,完成 樣品臺坐標(biāo)系定位,并可精確的對樣品的 位置進(jìn)行定位,方 便尋找樣品.
7變倍:全自動變焦,可通過觸摸屏控制,且系統(tǒng)可在 倍 數(shù)下測量.
8電動載物臺:全自動載物臺,載物臺面積不小于310× 223mm,XY行程不小于100×130mm。
9載重:樣品載重不小于4kg。
10 Z軸移動行程(自動):60mm
11機(jī)身:傾斜角度(編碼可自動識別傾斜角度): +/- 45°,精 度為1度,傾斜時帶有實時角度顯示功能。
12被測試樣品高度:樣品高度不小于120mm。
13一體機(jī):一體化主機(jī),液晶觸摸屏顯示器,集成操作系統(tǒng)、 軟件等。
14自動化:全電動/編碼識別物鏡及傾斜角度,全觸摸屏控制 系統(tǒng)所有部件(相機(jī)、載物臺、拍照、測量等)。
15控制器:雙輪聚焦、放大及載物臺控制器控制軟硬件的觸摸 板可實現(xiàn)軟件快捷操作的觸摸板可分離的鍵盤
16軟件功能:自動曝光及自動白平衡,自動景深合成(EDF), 3D圖像獲取及測量,圖像拼接,實時HDR拍攝,錄像功能,高分 辨圖像拍攝,顏色分割等。
17工作流:軟件可編程記憶各操作步驟,相同樣品可自動批量 檢測。
18光電聯(lián)用:支持電鏡平臺和全自動光學(xué)顯微鏡之間的光電 聯(lián)用。防止掃描電鏡中的樣品在區(qū)域查找時出現(xiàn)的二次破壞現(xiàn)象。

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