試驗原理
試驗原理
封閉的氣罩將被檢件外側的被檢區域罩住,被檢件內部封閉空間抽至能保證氮質譜儀穩定工作在需要的靈敏度區間的真空度后,罩內充氮氣。當被檢件存在漏孔時,氮氣經漏孔進入系統內部并被吸入檢漏儀,檢漏儀示出氮信號。通過與標準孔引起的氯信號進行比較,計算出被檢件的漏率。
無分流檢測法
被檢件夾層內壓力較低、氣體負荷足檢漏僅抽氣能力的條件下,隔孔進入被檢件的氯氣全部進入被檢件轉化為輸出信號。本方法適用于高真空多層型絕熱設備的漏率測量。
分流檢測法
被檢件夾層內壓力較高、氣體負荷不能滿足檢漏儀充氣能力的條件下,為維持檢漏儀的工作壓力 需増加軸助泵進行輔助抽氣經漏孔進入被檢件的氣一部分被輔助泵抽定,另一部分進入檢漏儀并在檢漏儀內建立起氦平衡分壓力,檢漏儀給出該壓力下的氦輸出信號,本方法通用于真空粉末型真空絕熱深冷設備的漏率測量。
無分流檢測法 helium hood leak detection method
用封閉罩將被檢件部分或全部罩住,罩內充入氮氣,對被罩部位進行氨質譜真空檢漏的一種方法
分流檢測法 helium hood leak detection method by- passing
檢漏中,被檢件被有效抽空,一部分經漏孔進入的示漏氣體被抽走,另一部分在檢漏儀中建立起示
漏氣體分壓,最終建立起平衡分壓力而被檢潘儀指示的一種真空檢漏方法。